ASTM E2090-12
利用光電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡對清潔室擦刷工具釋放粒子和纖維的尺寸差異計數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法

Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號

ASTM E2090-12

發(fā)布

2012年

總頁數(shù)

11頁

發(fā)布單位

美國材料與試驗協(xié)會

替代標(biāo)準(zhǔn)

ASTM E2090-12(2020)

當(dāng)前最新

ASTM E2090-12(2020)

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

ASTM D1193 ASTM F25 ASTM F312 ISO 14644-1 ISO 14644-2

該測試方法可以對浸入清潔溶液中并施加適度機(jī)械應(yīng)力的擦拭器釋放的顆粒和纖維進(jìn)行準(zhǔn)確且可重復(fù)的計數(shù)。如果執(zhí)行正確，這種計數(shù)測試方法足夠靈敏，可以量化非常低水平的總顆粒和纖維負(fù)荷。結(jié)果準(zhǔn)確且不受偽影或粒徑限制的影響。該技術(shù)的另一個優(yōu)點是它可以對單個顆粒進(jìn)行形態(tài)學(xué)和 X 射線分析。1.1 該測試方法涵蓋測試潔凈室和其他受控環(huán)境中使用的所有擦拭器的與顆粒清潔度相關(guān)的特...

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