ASTM E2090-06
使用光學(xué)和掃描電子顯微鏡從潔凈室刮水器釋放的顆粒和纖維的尺寸分化計數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)測試方法

Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy

被代替

適用范圍: 該測試方法可以對浸入清潔溶液中并施加適度機械應(yīng)力的擦拭器釋放的顆粒和纖維進(jìn)行準(zhǔn)確且可重復(fù)的計數(shù)。如果執(zhí)行正確，這種計數(shù)測試方法足夠靈敏，可以量化非常低水平的總顆粒和纖維負(fù)荷。結(jié)果準(zhǔn)確且不受偽影或粒徑限制的影響。該技術(shù)的另一個優(yōu)點是，它可以對單個顆粒進(jìn)行形態(tài)學(xué)和 X 射線分析。
1.1 該測試方法涵蓋測試潔凈室和其他受控環(huán)境中使用的所有擦拭布的與顆粒清潔度相關(guān)的特性。
1.2 該測試方法包括使用基于計算機的圖像分析和計數(shù)硬件和軟件對密集顆粒過濾器進(jìn)行計數(shù)（參見）。雖然使用該設(shè)備不是絕對必要的，但強烈建議提高計數(shù)的準(zhǔn)確性、速度和一致性。
1.3 以 SI 單位表示的值應(yīng)被視為標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決所有問題與其使用相關(guān)的安全問題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵嵺`并確定監(jiān)管限制的適用性。