GB/T 43798-2024
平板顯示陣列用正性光阻材料測試方法
Test method for positive photoresist materials for flat panel display arrays
GBT43798-2024, GB43798-2024
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 43798-2024
- 別名
- GBT43798-2024, GB43798-2024
- 發(fā)布
- 2024年
- 總頁數(shù)
- 19頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 43798-2024
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 23942 GB/T 25915.1 GB/T 33087 GB/T 37403 GB/T 39486
- 適用范圍
- 本文件描述了平板顯示陣列用正性光阻材料的測試方法。 本文件適用于液晶顯示器件、有機(jī)發(fā)光顯示器件等顯示陣列制造用正性光阻材料的性能測試。
GB/T 43798-2024 中提到的儀器設(shè)備
| 涂布烘烤機(jī) 具備旋轉(zhuǎn)涂布或刮涂涂布方式，溫度范圍 40~200°C | 用于正性光阻材料的涂布和前烘工藝。 |
| 膜厚測定儀 測量范圍不小于 3μm，精度要求 1nm | 用于測量基底片上光阻材料的膜厚。 |