BS EN ISO 14644-5:2025
潔凈室及相關受控環(huán)境操作

Cleanrooms and associated controlled environments - Operations

適用范圍: 1 適用范圍本文檔規(guī)定了建立操作控制計劃（OCP）的要求，以確保在規(guī)定潔凈度級別內(nèi)實現(xiàn)高效的潔凈室操作。OCP包括對人員的管理、人員和物料的進出管理、清潔、維護和監(jiān)測。本文檔規(guī)定了與以下內(nèi)容相關的操作要求：— 提供一個系統(tǒng)，明確維持潔凈度水平的政策和操作程序；— 對人員進行培訓；— 轉移、安裝和維護固定設備；— 將物料和便攜設備轉移進或出潔凈室；— 維持包括著裝計劃在內(nèi)的人員管理計劃；— 維持包括特殊清潔在內(nèi)的清潔計劃；— 維持……

術語	描述
清潔效率 cleaning efficiency	通過清潔過程從表面去除特定污染物的比例
潔凈度 cleanliness	不超過規(guī)定污染水平的條件
潔凈室 cleanroom	控制空氣中顆粒數(shù)量濃度并分類的房間，設計、建造和運行方式控制顆粒的引入、產(chǎn)生和保留
潔凈區(qū) clean zone	定義的空間，構造和運行方式控制污染物引入、產(chǎn)生和保留在指定最大顆粒濃度以下
消耗品 consumable	在潔凈室和受控環(huán)境中按規(guī)定有限使用并隨后處置的物品