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DIN EN ISO 9220:2021
金屬涂層-涂層厚度的測量-掃描電子顯微鏡法(ISO/DIS 9220:2021)

Metallic coatings - Measurement of coating thickness - Scanning electron microscope method (ISO/DIS 9220:2021); German and English version prEN ISO 9220:2021


標(biāo)準(zhǔn)號
DIN EN ISO 9220:2021
發(fā)布
2021年
總頁數(shù)
36頁
發(fā)布單位
德國標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會
替代標(biāo)準(zhǔn)
DIN EN ISO 9220:2021-04
當(dāng)前最新
DIN EN ISO 9220:2022-05
 
 
引用標(biāo)準(zhǔn)
ISO 1463 ISO 2064
 
 
本體
厚度測量 掃描電子顯微鏡 金屬涂層
適用范圍
本文件規(guī)定了通過掃描電子顯微鏡(SEM)檢查橫截面來測量金屬涂層(以下也包括其他無機(jī)涂層)局部厚度的破壞性方法。該方法可用于厚度達(dá)幾毫米的涂層,但對于如此厚的涂層,通常更實用的是使用光學(xué)顯微鏡(ISO 1463)(如適用)。厚度下限取決于所達(dá)到的測量不確定度(見第10章)。
術(shù)語描述
局部厚度
local thickness
在參考區(qū)域內(nèi)進(jìn)行指定數(shù)量厚度測量的平均值。

DIN EN ISO 9220:2021 中提到的儀器設(shè)備

工具

用于校準(zhǔn)SEM軟件長度測量功能的工具
用于校準(zhǔn)SEM軟件長度測量功能的工具,如臺微米計、格柵、硅片上的金屬凸塊或球形聚合物顆粒。
掃描電子顯微鏡

SEM
用于檢查涂層橫截面的主要儀器。

DIN EN ISO 9220:2021相似標(biāo)準(zhǔn)





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