術(shù)語 | 描述 |
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局部厚度 local thickness | 在參考區(qū)域內(nèi)進(jìn)行指定數(shù)量厚度測量的平均值。 |
工具 用于校準(zhǔn)SEM軟件長度測量功能的工具 | 用于校準(zhǔn)SEM軟件長度測量功能的工具,如臺微米計、格柵、硅片上的金屬凸塊或球形聚合物顆粒。 |
掃描電子顯微鏡 SEM | 用于檢查涂層橫截面的主要儀器。 |
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