術(shù)語(yǔ) | 描述 |
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ISO Class N ISO 等級(jí) N | 根據(jù) ISO 14644-1 和 14644-2 定義的空氣顆粒濃度等級(jí),其中 10N 是最大允許濃度(每立方米中的粒子數(shù))。 |
FS209 FS209 | 根據(jù) FED-STD-209E 定義的最大允許空氣中顆粒數(shù)的潔凈度等級(jí)。 |
清潔區(qū) clean area | 通過(guò)物理設(shè)計(jì)和操作程序控制污染的區(qū)域,包括凈化室、受控區(qū)域和其他 enclosure。 |
分子污染物 molecular contaminant | 非顆粒狀污染物,可能以氣態(tài)、液態(tài)或固態(tài)存在。 |
HEPA過(guò)濾器 符合 IEST-RP-CC001.3 和 IEST-RP-CC007.1 要求 | 用于空氣凈化,確保潔凈室的空氣質(zhì)量達(dá)到 ISO 5 級(jí)或更高。 |
NVR樣品板 316耐腐蝕不銹鋼,面積約為 0.1 m2 | 用于收集和測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的樣品載體。 |
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