ISO 15472:2001
表面化學(xué)分析 X射線光電譜儀 能量刻度表校準

Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales

作廢

標準號

ISO 15472:2001

發(fā)布

2001年

總頁數(shù)

34頁

中文版

GB/T 22571-2008 (等同采用的中文版本)

發(fā)布單位

國際標準化組織

替代標準

ISO 15472:2010

當前最新

ISO 15472:2010

 

 

適用范圍

本國際標準規(guī)定了用于一般分析目的，使用非單色鋁或鎂 X 射線或單色鋁 X 射線校準 X 射線光電子能譜儀結(jié)合能標度的方法。 它僅適用于配備離子槍進行濺射清潔的儀器。 本國際標準進一步規(guī)定了建立校準計劃的方法，以測試一個中間能量下的結(jié)合能標度線性度，以確認一個低和一個高結(jié)合能值下的標度校準的不確定度，以校正小該標度的漂移，并定義置信度為 95% 的結(jié)合能標度校準的擴展不確定度。 這種不確定性包括實驗室間研究中觀察到的行為的貢獻，但不涵蓋所有可能發(fā)生的缺陷。 本國際標準不適用于具有與能量顯著非線性的結(jié)合能標度誤差的儀器、在延遲比小于 10 的恒定延遲比模式下操作的儀器、以及光譜儀分辨率低于 1.5 的儀器。 eV，或要求容差限制為 ±0.03 eV 或更小的儀器。 本國際標準不提供全面的校準檢查，該檢查將確認能量標尺上每個可尋址點測量的能量，并且必須按照制造商推薦的程序進行。

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